德國(guó)Physik Instrumente（PI）線性執(zhí)行器
&&適用于真空的L-220 V6高分辨率線性執(zhí)行器
適用于高循環(huán)數(shù)
適用于真空的L-220 V6高分辨率線性執(zhí)行器
產(chǎn)品描述技術(shù)指標(biāo)資料下載報(bào)價(jià)/訂購(gòu)
適用于高達(dá)10-6 hPa的真空
力125 N
26毫米（1英寸）行程范圍
步進(jìn)電機(jī)
參考級(jí)直線驅(qū)動(dòng)器
結(jié)合了高精度，高作用力和高動(dòng)態(tài)性。具有齒輪比的高性能，低振動(dòng)的2相步進(jìn)電機(jī)即使在沒(méi)有位置控制的情況下也可以進(jìn)行精確定位。

減少放氣，特別是在真空環(huán)境下使用
顯著的是，為了潤(rùn)滑導(dǎo)向裝置和驅(qū)動(dòng)螺桿，使用了排氣量極低的材料。因此，烘烤溫度可達(dá)到80°C。通過(guò)對(duì)PI V6真空等級(jí)的這種和其他修改，該定位器的使用時(shí)間可達(dá)10 -6  hPa。

優(yōu)質(zhì)組件
滾珠絲杠，送紙順暢。非旋轉(zhuǎn)可確保均勻運(yùn)動(dòng)，從而防止在接觸點(diǎn)出現(xiàn)擺動(dòng)，扭矩和磨損。含稅 平面和球形可消除耦合力。非接觸式限位開(kāi)關(guān)可保護(hù)機(jī)械性能。方向感應(yīng)參考開(kāi)關(guān)支持自動(dòng)化應(yīng)用。

應(yīng)用領(lǐng)域
真空室。研究。Beamline儀表。顯微鏡檢查。電子組裝和檢查。

&&A-68x PIglide RLA旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，帶空氣軸承，大孔徑
無(wú)摩擦，電動(dòng)
A-68x PIglide RLA旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，帶空氣軸承，大孔徑
產(chǎn)品描述技術(shù)指標(biāo)資料下載報(bào)價(jià)/訂購(gòu)
直徑365毫米的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，直徑260毫米的光圈
低調(diào)
偏心和平整度<300 nm
產(chǎn)品總覽
PIglide RLA系列的直接驅(qū)動(dòng)平面旋轉(zhuǎn)平臺(tái)設(shè)計(jì)為具有的精度。它們外形小巧，通光孔徑大。RLA位移臺(tái)具有出色的行程精度，平坦度和擺動(dòng)性能。

編碼器（可選）
值編碼器提供明確的位置信息，可立即確定位置。這意味著在接通過(guò)程中不需要引用，從而提高了操作期間的效率和安全性。

應(yīng)用領(lǐng)域
斷層掃描，束線系統(tǒng)，晶圓計(jì)量，晶圓檢查，測(cè)量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。

由于無(wú)摩擦運(yùn)動(dòng)，不會(huì)形成任何顆粒，這使PIglide平臺(tái)成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。

三相轉(zhuǎn)矩電機(jī)
無(wú)刷
低齒槽轉(zhuǎn)矩
配件和選件
增量或編碼器
PIglide過(guò)濾器和空氣制備套件
單軸或多軸運(yùn)動(dòng)控制器和伺服驅(qū)動(dòng)器
多軸/自定義設(shè)置
花崗巖制底板和減振系統(tǒng)

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